2023/2/24
控制系统与操作界面
通过自主研发的晶体生长控制软体,实现大尺寸晶体生长的全自动控制。在生产过程中,可根据工人操作习惯和晶体生长控制工艺,实现全自动、半自动和手动的切换操作。
晶体生长控制过程图
12英寸及以上晶体生长炉
氮化镓衬底<111>晶向 低阻重掺硅片
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